多晶硅生产工艺流程及相关问题《附西门子法生产工艺》.pdf
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简介:
多晶硅生产工艺流程及相关问题《附西门子法生产工艺》
这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用
技术,对环境不产生污染,具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产
多晶硅所用设备主要有:氯化氢合成炉,三氯氢硅沸腾床加压合成炉,三
氯氢硅水解凝胶处理系统,三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统,硅芯炉,节
电还原炉,磷检炉,硅棒切断机,腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置,还
原尾气干法回收装置;其他包括分析、检测仪器,控制仪表,热能转换站,
压缩空气站,循环水站,变配电站,净化厂房等。